URE-2000/55ZD为单面全自动接近接触式光刻机，支持定制标记自动对准，解决人眼对准缺少参照物从而引入误差的问题。支持机械臂自动传输多尺寸样片，产能高。
参数名称 | 数值以及说明 | 单位 |
曝光面积 | 110×110—210×210 | mm |
曝光波长 | 310、365、405 | nm |
光刻分辨力 | 0.8—1.2 | μm |
照明不均匀性 | ≤2%(φ100 mm),≤3%(φ200 mm) | |
对准精度 | ±1-1.5 | |
对准方式 | 自动对准 | |
上片方式 | 自动输片 | 用户可选配 |
效率 | ≥80 | 片/小时 |
光源类型 | LED或汞灯：350W、1000W; | |
曝光能量密度 | LED:≥100汞灯：≥40 | mw/cm² |
曝光量设定 | 倒计时方式，0.1-999.9任意设定 | S |
曝光间隙设定 | 数值设定 |
l 操作简洁，功能一键化；
l 可接入机械手，实现工艺执行自动化、对准精度高、生产效率快；
l 适应4、6、8寸硅片，碎片等不同产品，可定制对准标记完成自动对准。
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