URE-2000/ZX20为曲面直写光刻机，可将三维曲面保形电子的制备步骤，简化为一步激光直写，让保形电子与球碗曲面实现完全贴合。
光源 | 405nm±10nm |
线宽分辨率 | 10-50um |
线宽均匀性 | ±2umum |
球碗半径 | R30mm-R150mm(可定制) |
检焦精度 | 1um |
旋转角度 | x±65°，y±65° |
直写速率 | 720min（角度±65°球碗） |
l 可将三维曲面保形电子的制备步骤，简化为一步激光直写，让保形电子与复杂曲面实现完全贴合；
l 具有实时检焦功能，保证曝光过程中激光能量的均匀性；
l 采用多轴联动控制技术，实现曲面样片的经纬分割式曝光；
l 步骤精简、无需掩模、且贴合精度高。
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