URE-2000/ZX10为平面直写光刻机，最小线宽分辨率为0.6um，支持灰度曝光，套刻曝光，直写速率快。
光源 | 405nm |
曝光面积 | 200x200mm² |
线宽分辨率 | 0.6um |
最小间距 | 0.8um |
CD一致性 | 70nm |
套刻精度(5x5mm²) | 600nm |
套刻精度(100x100mm²) | 1200nm |
是否支持灰度曝光 | 是，≥64级 |
检焦范围 | 80um |
l 该产品具有生产效率高，曝光区域大的特点，为高分辨率灰度图案提供良好的稳定性；
l 适用于小批量掩膜版制作和直写需求；
l 可用于多种类型基底，性价比高。
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