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UVSTEP-8 步进投影光刻机

产品名称:UVSTEP-8 步进投影光刻机

主要技术指标:

  曝光面积:35mmX35mm
  分辨力:2μm
  曝光波长:365nm
  最大胶厚:
  掩模尺寸:4 英寸、5英寸
  样片尺寸:8 英寸
  工件台运动定位精度:±0.65μm
  套刻精度:0.5-1μm
  掩模相对于样片运动行程:

技术特点:

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