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| 联系人：龚健文,胡松,赵立新 |
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客户案例
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中科院光电所研发光刻机已经近30年,曾经完成我国第一台接近接触光刻机、第一台g线投影光刻机、第一台i线投影光刻机、第一台X射线投影光刻机、无掩模数字光刻机、第一台底面对准双面光刻机。同时也是国内首家完成面积达500mmX600mm超大面积平板显示器专用光刻机的厂家。
我们目前的光刻机产品主 要有五类：URE-2000系列紫外单面光刻机、URE-2000S系列双面光刻机、URE-2000D系列大面积光刻机(曝光面积大于12英寸），DS-2000系列数字无掩模光刻机，步进投影i线光刻机（stepper）。
2014-2015年主要销售业绩 |
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1、北京大学 |
紫外光刻机 URE-2000/35 |
2、山东大学 |
紫外光刻机 URE-2000/35 |
3、西南科技大学 |
微器件加工平台 TYG-2000/T |
4、浙江大立科技股份有限公司 |
紫外双面光刻机 URE-2000S/A8 |
5、上海博澜化学品有限公司 |
紫外光刻机 URE-2000/25 |
6、北京中科成广科贸有限公司 |
紫外光刻机 URE-2000 |
7、上海大学 |
紫外光刻机 URE-2000/17 |
8、上海同济大学 |
紫外光刻机 URE-2000/35 |
9、南方科技大学 |
紫外光刻机 URE-2000/35 |
10、南方科技大学 |
紫外光刻机 URE-2000/35 |
11、兰州大学 |
紫外光刻机 URE-2000/35 |
12、重庆大学 |
紫外光刻机 URE-2000/35 |
13、西安建筑科技大学 |
紫外光刻机 URE-2000B |
14、深圳大学新技术研究中心 |
微纳结构备压印模块 |
15、武汉华工图像技术开发有限公司 |
大面积光刻机 FPD-2000/35TK |
16、常州恒威光电科技有限公司 |
平板显示器曝光系统 FPD-2000/35DB、 FPD-2000/35TK |
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