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产品类别

光刻机
单面光刻机
双面光刻机
DMD无掩模光刻机
纳米压印光刻机
移动掩模光刻机
投影光刻机
翻板机
生物芯片检测产品
嵌入式生物系统扫描仪
工件台系列产品
高精密工件台
机械式工件台
气浮式工件台
半导体检测仪器
三维微纳形貌测量仪
厚膜仪

客户案例

     中科院光电所研发光刻机已经近30年,曾经完成我国第一台接近接触光刻机、第一台g线投影光刻机、第一台i线投影光刻机、第一台X射线投影光刻机、无掩模数字光刻机、第一台底面对准双面光刻机。同时也是国内首家完成面积达500mmX600mm超大面积平板显示器专用光刻机的厂家。
     我们目前的光刻机产品主 要有五类:URE-2000系列紫外单面光刻机、URE-2000S系列双面光刻机、URE-2000D系列大面积光刻机(曝光面积大于12英寸),DS-2000系列数字无掩模光刻机,步进投影i线光刻机(stepper)。


2014-2015年主要销售业绩

 

1、北京大学

紫外光刻机  URE-2000/35

2、山东大学

紫外光刻机  URE-2000/35

3、西南科技大学

微器件加工平台  TYG-2000/T

4、浙江大立科技股份有限公司

紫外双面光刻机  URE-2000S/A8

5、上海博澜化学品有限公司

紫外光刻机  URE-2000/25

6、北京中科成广科贸有限公司

紫外光刻机  URE-2000

7、上海大学

紫外光刻机  URE-2000/17

8、上海同济大学

紫外光刻机  URE-2000/35

9、南方科技大学

紫外光刻机  URE-2000/35

10、南方科技大学

紫外光刻机  URE-2000/35

11、兰州大学

紫外光刻机  URE-2000/35

12、重庆大学

紫外光刻机  URE-2000/35

13、西安建筑科技大学

紫外光刻机  URE-2000B

14、深圳大学新技术研究中心

微纳结构备压印模块

15、武汉华工图像技术开发有限公司

大面积光刻机  FPD-2000/35TK

16、常州恒威光电科技有限公司

平板显示器曝光系统  FPD-2000/35DB、 FPD-2000/35TK

 

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