URE-2000A/55自动对准光刻机技术特征简介

URE-2000/55是我们URE-2000系列光刻机中精度最高的设备,是一款高分辨力、高对准精度、高效率、全自动、深层曝光和掩模移动的先进光刻机。尤其是其自动对准和掩模移动曝光功能为国际独创。

主要技术特征如下：

1. 操作：更加方便，功能更加完善

（1）既可以触摸开关操作，手感好，参数设置方便。也可计算机操作，设置曝光参数（如曝光时间、曝光间隙、对准间隙）等更加方便，增加汞灯使用时间记录功能，增加个人使用信息（用户名，登录密码，曝光结果存储与查询）。

（2）抽拉式安放基片，同一块掩模多次曝，无须上下掩模。

（3）双目双视场对准，既适应单标记又适应双标记对准，目视和CCD可同时观察。

（4）调平、分离对准间隙、消除曝光间隙、吸片、吸版、曝光等自动完成，自动化程度很高 。

（5）数字设定曝光时间，倒计时曝光，曝光量可精确控制。

2. 性能：非常优越

（1）采用专利技术—积木错位蝇眼透镜消衍射，积木错位蝇眼透镜由达109个，长度达24mm，实用分辨力可达0.8-1微米。

（2）汞灯采用1000W长寿命型。

（3）照明聚光角小(光源平行性好，小于2o，这是光刻机的重要指标)，照明均匀性好，照明不均匀性在Ф100范围可达3%。

（4）由于光源均匀性更好、光源平行性更好。更适合厚胶曝光，对于SU8胶最大厚度可达600μm，侧壁陡度可达86度（厚胶工艺用户提供，包括匀胶、显影条件、测试条件）。对于薄胶，曝光图形更加方直。

（5）光源质量好—保证曝光图形方、陡、直。通过最佳光学设计、光学镀膜，曝光成分为纯净的365nm，红外和可见成分被彻底过滤，曝光面为冷光（在环境温度为22度，曝光面温度不超过30度），肉眼观察为暗蓝紫光，紫外探测能量很高；国内同类由于采用常规玻璃并由于不掌握特殊紫外镀膜技术曝光面为热光（在环境温度为22度，曝光面温度超过30度），且紫外比重很小，肉眼观察为白光，紫外探测能量很低。国内照明面温度往往高于40度

（6）采用精密双侧V型滚动导轨+精密丝杠+进口开式光栅+大倍率显微镜+CCD+计算机，实现自动对准（也可手动对准），消除曝光间隙采用精密密排钢球轴系导向，对准漂移非常小，对准精度可达0.6微米。

（7）可靠性很高，关键器件采用最好进口件，如汞灯采用德国欧斯朗，电机、丝杠、导轨、气动元件和CCD等采用日本的，光栅采用美国的。

（8） 汞灯触发容易，更换方便：由于采用的是高性能进口灯、且电源性能好所以点灯容易；因为采用积木错位蝇眼透镜，均匀性和消衍射效果不受灯位置限制。具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能；

（9） 自动分离对准间隙和消除曝光间隙，间隙分离可达500μm，可数字调节曝光间隙；

（10） 高倍率双目双视场专用显微镜和21英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程；既满足高精度对准，又可用于检测曝光结果，且曝光结果方便存储；国内其它厂家主要采用CCD镜头，不能保证对准精度和对准视场。

（11） 电机机构、弹性元件和传感器保证接触曝光压力合适且重复性好；国内同类一般采用气缸或手轮手动调节，不能保证重复性，并很容易伤掩模和基片。

（12） 对准完成，自动消除曝光间隙，无横向漂移且可通过监视器观察；由于可深层曝光，在分辨力要求相对低时可在对准完成后不消间隙，直接曝光，更不存在对准漂移。

（13） 上下片、版十分方便，自动化程度很高，操作简便（单次曝光按一键即可完成操作，对准曝光按两键即可完成）。

（14） 采用三爪和球气浮同时找平，无论大片、小片调平精度均高。

（15） 整机中采用全防锈材料（不锈钢、航空超硬铝等），保证终身防锈。

（16） 具备一般光刻机整场曝光功能外，具备掩模移动曝光功能，掩模移动方式有步进曝光、连续扫描运动，可以制造连续面型的微结构，也可方便制作多台阶结构。

（17） 采用水冷+风冷的冷却方式，水冷自带循环水冷却器，结果科学的风冷设计保证冷却效果和汞灯寿命。

3.配置

循环水冷却系统（机器自带，3月-6月换水一次，饮用水即可）。

4个掩模架和4种承片台

无油静音空压机

无油静音真空泵

4、服务：优质

（1） 保修，一年的保修期，一切费用由我方负责（汞灯除外）。并负责长期维修，只收材料成本和旅差费。

（2） 提供真空系统，气源系统，用户只需提供场地和电源。

（3） 负责运输到用户使用场地，并负责安装、调试、使用指导。

5．价格

尽管本设备性能好、技术指标高，机器配置好，且提供大量机器附件，售价相对是十分优惠的。

6．交货期：3个月

7．外型：漂亮

（1） 计算机色套红色，非常漂亮（是其它厂商无法比的）

（2） 80%以上零件采用防锈材料，其余材料采用表面处理方法

（3） 人机操作十分舒适

（4） 气管、电线：走暗线