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URE-2000D型紫外光刻机

产品名称:URE-2000D型紫外光刻机

主要技术指标:

  曝光面积:430 mm×430 mm
  分辨力:3μm
  对准精度:≤±1μm
  最大胶厚:
  掩模尺寸:16英寸、17英寸、18英寸、20英寸
  样片尺寸:直径Ф50mm-- Ф430mm
  照明均匀性:±10%(430 mm×430 mm范围)
  汞灯功率:2500W、3500W(直流)
  掩模相对于样片运动行程:X: ±6mm; Y: ±6mm; θ: ±6°

技术特点:

采用3500W直流高压汞灯;采用蝇眼透镜实现高均匀照明;实现超大面积光刻;采用CCD自动对准,自动化程度高;性能可靠、操作方便。
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