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产品名称：URE-2000/A型紫外光刻机

主要技术指标：

曝光面积：150mm×150mm

分辨力：0.8～1μm（胶厚1.5μm的正胶）

对准精度：±0.6μm

最大胶厚：500μm（SU8胶）

掩模尺寸:3inch、4inch、5inch、7inch

样片尺寸：直径Ф15mm-Ф150mm、厚度0.1mm-6mm

照明均匀性：±3.5%Ф100mm)；±5.5%(Ф150mm)

汞灯功率：1000W（直流）

掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°

技术特点：

该机采用i线紫外曝光光源，光学系统采用特殊的消衍射和线条陡直增强技术，采用积木错位蝇眼透镜实现高均匀照明，并配备了双目双视显微镜和CCD图象对准系统（可同时使用），曝光能量高，聚光角度小，突具厚胶曝光功能，曝光设定采用微机控制，菜单界面友好，操作简便。

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