设为首页 收藏本站
      

查看产品

TYG-2000/T1步进投影光刻机
TYG-2000/T1步进投影光刻机

产品名称:TYG-2000/T1步进投影光刻机

主要技术指标:

  曝光场面积:10mm×10mm
  分辨力:1μm;
  照明不均匀性:±2%
  物镜倍率:5倍(缩小)
  光源:350W球形汞灯(曝光谱线: i线)
  基片尺寸:3 英寸 、4 英寸
  工件台运动范围:X:>150mm、 Y:>150mm;
  工件台运动定位精度:±0.65μm
  调焦台运动灵敏度:1μm
  对准精度:±0.5μm
  调焦台运动行程:5mm
  检焦:CCD检测,检测精度0.5微米
  转动台行程:±4°以上
  基片尺寸:Ф5mm—150mmX150mm(并可适应非标准片或碎片),厚度:0.1mm--5mm

主要技术配置:

(1)照明系统:冷光椭球镜;  350W进口直流高压汞灯(德国欧司朗);  XYZ汞灯调节台;  光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜负透镜、蝇眼透镜组(79个透镜)、i线滤光片、场镜1、冷光反射镜1、反射镜2;  冷却风扇
(2)工件台系统:X台:电机驱动器(日本乐孜)、丝杠(日本NSK)、导轨2(日本THK)、光栅(美国)  Y台:电机及驱动器(日本乐孜)、丝杠(日本NSK)、导轨2(日本THK)、光栅2(美国)  转动台:电机及驱动器(日本乐孜),转动轴系 调平台:电机及驱动器(3套)、调平机构  Z台:电机及驱动器(日本乐孜)、丝杠、上升导向机构; 承片台:3英寸(可增加4英寸、2英寸、1英寸等)
(3)检焦系统:焦面光学检测系统、CCD、焦面检测软件
(4)对准系统:对准光学检测系统(2套)、CCD(2套)、对准软件
(5)电控系统:汞灯电源及触发器、主机控制系统、软件、计算机、显示器、接口
(6)其他部件:底座 减震器(4个);控制柜桌;气动系统;电磁阀、旋转气缸、减压阀、压力表、真空表
(7)其他附件:真空泵一台(无油泵);空压机一台(静音泵);管道
关于我们 产品展示 服务支持 最新资讯 客户案例 访客留言

本公司长期代理中国科学院光电技术研究所的光刻机   地址: 成都高新区天辉中街56号1栋8层  
   蜀ICP备17015248号-1      ©版权所有:成都晶普科技有限公司
联系方式:电话:028-85101784 联系人:龚健文  TEL:13541355104  E-mail:gongjw@ioe.ac.cn. 
联系方式:电话:028-85100564 联系人:胡松    TEL:13981738959  E-mail:husong@ioe.ac.cn.