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产品名称：工件台ST-75-X /ST-100-X/ST-150-X(X:Ⅰ,Ⅱ,Ⅲ) |
主要技术指标： |
| 运动行程：75/100/150mm |
| 传感分辨力：50nm |
| 运动俯仰： 3"/100mm |
| 运动偏摆：3"/100mm |
| 最大速度：20mm/s |
| 最大负载：50kg |
| 运动重复定位精度 ：≤±0.4μm/100mm |
| XY移动正交性 ：≤3" |
| XZYZ移动正交性：≤3" |
技术特点： |
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1、3层串联结构实现三维运动操作。 2、采用精密光栅、步进电机、丝杠导轨实现精确工件定位。 3、采用自身零位光栅闭环控制，具有双层安全保护功能。
4、计算机自动操控，实时显示工件台坐标位置，操作简单，实用方便。
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