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URE-2000A/55自动对准移动掩模光刻机

产品名称:URE-2000A/55自动对准移动掩模光刻机

主要技术指标:

  曝光面积:Ф100mm
  分辨力:0.8μm
  对准精度: ≤±0.5μm
  最大胶厚:
  掩模尺寸:5 inch
  样片尺寸:直径Ф30mm-- Ф150mm
  照明均匀性:±3%
  汞灯功率:1000W(直流)
  掩模相对于样片运动行程:±8mm

技术特点:

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