2007年11月2日，我所开展的“URE-2000系列紫外深度光刻机”项目，在成都顺利通过中国科学院成都分院主持的成果鉴定。
中国科学院成都分院副院长袁家虎主持了鉴定会，光电所魏全忠副所长，四川省科技厅成果处、中国科学院成都分院科技处领导参加了会议。由林祥棣院士等7位专家组成的专家评审组，听取了“URE-2000系列紫外深度光刻机”项目负责人胡松研究员作的项目研制报告及鉴定委员会检测组的检测报告、查新报告和应用情况报告，经过认真的讨论后，专家们对项目的研发成果和完成情况给予了充分的肯定及高度评价。一致认为：该成果总体性能达到国际同类光刻机技术水平，其中在i线光刻深度方面达到国际先进水平，并拥有自主知识产权。同时认为：
1、该项目组研制开发了URE-2000系列七种类型的i线紫外接近/接触式光刻机，分别是URE-2000A型、URE-2000B型、URE-2000/17型、URE-2000/25型、URE-2000/35型单面深度光刻机，URE-2000D型大面积光刻机和URE-2000S型双面光刻机，并实现了商品化。
2、该系列成果分别在技术上取得了如下突破和创新：
（1）采用积木错位蝇眼透镜平滑衍射效应、真空曝光和气浮曝光等技术，实现了高均匀照明和亚微米高分辨力光刻；
（2）采用底面对准技术，单曝光头实现高准确度双面对准（±2.5mm）曝光；
（3）采用积木错位蝇眼透镜结合离轴非球面反射照明等技术，实现大面积（430mm′430mm）、高能（15mW/cm2）、均匀(±8%)、冷光(<30oC)、平行(<1o)曝光；
（4）采用双焦点对准技术，实现厚胶(600mm,侧壁陡度85o)高准确度对准（±0.6mm）与套刻。
3、该系列i线紫外光刻机技术先进、功能齐全、性能可靠、操作方便，尤其在深度光刻中具有特色。已经推广应用120余台（套），并远销国外6台（套），开创了我国光刻机设备出口的先例，具有良好的应用前景。
专家们希望项目组进一步加速该成果的产业化进程，使成果在经济与社会发展中发挥积极作用。
3、该系列i线紫外光刻机技术先进、功能齐全、性能可靠、操作方便，尤其在深度光刻中具有特色。已经推广应用120余台（套），并远销国外6台（套），开创了我国光刻机设备出口的先例，具有良好的应用前景。
专家们希望项目组进一步加速该成果的产业化进程，使成果在经济与社会发展中发挥积极作用。
